成為半導(dǎo)體關(guān)鍵耗材的頭部企業(yè)
專注于為芯片研發(fā)制造到測試的各個(gè)環(huán)節(jié)提供在線清潔解決方案。
Services Market
服務(wù)市場
涵蓋Logic、Memory、 CIS 等晶圓廠，以及光罩廠、面板廠和OEM等各類半導(dǎo)體電子環(huán)節(jié)，為客戶提供一站式芯片生產(chǎn)和測試的清潔解決方案。
- 3D NAND
- DRAM
- HBM
- LOGIC
Application Scenario
應(yīng)用場景
Chuck Clean Solutions
半導(dǎo)體制造過程中，chuck污染是常見的問題，清理chuck的沾污通常比較耗時(shí)。納佰新開發(fā)出一整套在線清潔方案，針對不同類型設(shè)備卡盤的污染顆粒問題。包括PVD，Etch，Litho以及高溫情況下的CVD等等。
Working Principle of Chuck Cleaning
工作原理
針對設(shè)備卡盤的污染顆粒問題，納佰新公司開發(fā)出一整套在線清潔方案。
SPM產(chǎn)品：針對高溫靜電卡盤的污染物清潔。
PPM產(chǎn)品：針對真空吸盤以及光刻機(jī)的卡盤的污染物清潔。
PPM/APM產(chǎn)品：針對超高溫靜電卡盤的污染物清潔。
Photomask Table Cleaning
光罩載臺清潔
Nanoval 采取獨(dú)家配方和工藝，設(shè)計(jì)一款用于清除光罩載臺污染物的的產(chǎn)品
Probe
針對不同測試場景中對探針帶來的污染
- 測試設(shè)備WAT-在線晶圓電性測試
- 測試針卡CP-晶圓前端工藝完成后的電性良率測試
- 針卡清潔FT-芯片封裝后的burn-in測試
Widerange Product Portfolio
Nanoval已開發(fā)出各種清潔產(chǎn)品，致力于良率提升方向
- 磨針產(chǎn)品場景：針頭清潔
類型：晶圓/砂紙
磨耗可調(diào) - 清針產(chǎn)品工作場景：針側(cè)清潔
類型：晶圓/砂紙
磨耗可調(diào) - 磨針清針組合工作場景：針頭、針側(cè)清潔
類型：A/B左右版
磨耗可調(diào) - 磨針清針組合工作場景：針頭、針側(cè)清潔
類型：垂直結(jié)構(gòu)
磨耗可調(diào) - 針卡維保產(chǎn)品工作場景：針側(cè)清潔、針卡保溫
類型：晶圓/砂紙
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